近日，溫州先鋒閥門有限公司自主研發(fā)的“HGU高性能半導體用球閥”獲得國家實用新型專利授權(專利號:ZL202422218105.6)。該產(chǎn)品專為半導體制造等高真空應用場景設計，在結構設計、密封性能與國產(chǎn)適配性等方面取得關鍵突破，為實現(xiàn)核心工藝環(huán)節(jié)的國產(chǎn)替代提供了有力支撐。
長期以來，高真空閥門領域主要由歐美日等國外企業(yè)主導。HGU球閥的推出，標志著國內企業(yè)在關鍵部件性能上取得實質進展。產(chǎn)品支持DN63至DN100口徑，兼容GB4892/IS0-KF與GB6070/S0-F等多種連接標準，適配各類國產(chǎn)半導體設備，具備良好的集成性。根據(jù)企業(yè)方面提供的數(shù)據(jù)，產(chǎn)品在交付周期上可比進口產(chǎn)品縮短30%，整體成本降低約60%，并在長三角、珠三角等產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)提供最快48小時現(xiàn)場響應服務，大幅提升本土供應效率。 |